冷场发射扫描电子显微镜

仪器简介
冷场发射扫描电子显微镜 quanta feg场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和esem环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。
quanta feg可同时安装能谱仪、波谱仪、ebsp、阴极荧光等附件。
技术参数
冷场发射扫描电子显微镜 •monocl3+阴极荧光谱仪，波长范围160-930nm
•电子束感生电流（ebic）
• stem探测器
• apollo 40 sdd能谱仪
• 液氮冷台，温度范围为-185℃- +200℃
• 液氦冷台，温度范围为6k-300k
仪器功能
• 可在高真空、低真空（130pa)、环境真空(4000pa)下观察导电和不导电样品，对材料的表面和横截面的微观形貌、成分进行分析，广泛应用于金属材料、高分子材料、半导体材料、纳米材料等领域；
• 配备的apollo40 sdd能谱无需液氮制冷，可进行快速的点、线、面分布分析，获得能谱的mapping图谱；
• 其样品室直径达284 mm，对于直径达四英寸硅片可以直接进行测试，无需对样品进行分割处理；

苏州恒测新材料有限公司

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