1200度双管滑动式单温区cvd系统


1200度双管滑动式单温区cvd系统产品用途:
此款cvd系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔
电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。
产品组成:
cvd系统配置:
1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区及双温区)。
2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。
3.内外双石英管,采用真空可通气氛双法兰特殊连接。
4.多路气体流量控制系统(质子流量控制器和浮子流量控制器)
5.真空系统(可选配中真空或高真空)     
产品特点:
产品独特性
1 控制电路选用模糊pid程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。
2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。
3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气
造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。
4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位
功能,炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。
5 双管真空密封法兰,反应气体可以在内外管之间发生反应,冷却气体可通过内管,从而使内管外壁温度降低。
1200度双管滑动式单温区cvd系统

天津中环电炉股份有限公司
王先生
15122725930
天津 北辰区 天津市北辰区经济开发区双川道北
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